Lektsii_Fv-10 (Лекции по физике вакуума)

2017-12-28СтудИзба

Описание презентации

Файл "Lektsii_Fv-10" внутри архива находится в папке "Лекции по физике вакуума". Презентация из архива "Лекции по физике вакуума", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физика" из 4 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "лекции и семинары", в предмете "физика вакуума" в общих файлах.

Просмотр презентации онлайн

Текст из слайда

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Н.Э. БАУМАНА
Титул
Курс лекций:
ФИЗИКА ВАКУУМА
Михайлов Валерий Павлович

Лекция № 10
Принципы измерения давления вакуума
Давление,
создаваемое
современными
вакуумными
системами варьируется в диапазоне от 105 Па до 10-10 Па,
поэтому технически невозможно создать манометр, работающий
в столь широком диапазоне давлений.
К
настоящему
времени
конструкторами
разработан
большой набор конструкций манометров в совокупности
перекрывающий весь диапазон указанных давлений.

Типы манометров

Обычно манометры снабжены блоком управления,
позволяющим преобразовывать давление в электрический сигнал
для управления автоматикой вакуумной системы.
Кратко рассмотрим основные типы широко используемых
манометров.
1. Гидростатические V – образные манометры позволяют
измерять давление от атмосферного до 102 Па и состоят из
откачанной V – образной трубки, частично заполненной ртутью
или вакуумным маслом и соединенной с вакуумной системой.
Преимущества манометров – прямое измерение давления,
независимость от вида газа.
2. Деформационные манометры.
Принцип работы основан на изменяющейся (в зависимости
от давления) деформации упругого элемента – трубки Бурдона
или металлической мембраны.
Использование металлической мембраны в сочетании с
индуктивными или емкостным датчиком точных перемещений
позволяет измерять давления в области РИЗМ = 105 –101 Па.

3.
Компрессионный
манометр

представляет
усовершенствованную разновидность гидростатического V –
образного манометра. Газ сжимается в манометре в известное
число раз, что позволяет с помощью прямого метода измерять
давления до 10-3 Па.
Достоинства:
1) прямые измерения давления, что позволяет использовать
его в качестве образцового для калибровки манометров других
типов;
2)
широкий
диапазон
измеряемых
давлений,
распространяющийся на область высокого вакуума
Недостатки:
1) большое время, затрачиваемое на один замер (2-5 мин);
2) невозможность автоматизации;
3) невозможность работы с конденсирующимися парами.

4. Тепловые манометры. Принцип работы основан на
связи теплопроводности газа с давлением. В зависимости от
способа измерения температуры нагреваемой нити делятся на
два типа:
1)
Манометры сопротивления измеряют изменение
температуры нити, как функцию изменения ее сопротивления.
Сопротивление нити измеряют с помощью мостовой схемы.
Манометр может измерять давление в диапазоне 103-10-2 Па.
2) Термопарный манометр – представляет наиболее
дешевую и простую разновидность теплового манометра, в
котором температура нагретой нити измеряется с помощью
термопары. Работает в диапазоне давлений 102 – 10-1 Па.

5. Ионизационный манометр
Принцип работы основан на ионизации газа в объеме
датчика потоком электронов, который строго стабилизирован
(обычно 0,5 мА). Тогда количество образованных (за счет
электронной бомбардировки молекул) ионов будет зависеть
от давления (точнее от объемной концентрации газа). В
простейшей
модификации
может
измерять
давление
в
диапазоне 10-1 – 10-5 Па. В усовершенствованной модификации
(датчик
Альперта),
в
которой
устранена
причина,
вызывающая заметный фототок, может измерять давление в
диапазоне 10-1 – 10-9 Па.

6. Магниторазрядный манометр (манометр Пенинга)
Манометр Пенинга или так называемый манометр с
холодным катодом. Принцип действия как и у ионизационного
манометра основан на ионизации газа. Для расширения
диапазона измеряемых давлений и возможности использования
холодного
катода
в
манометре
использована
система
скрещенных магнитного и электрического полей. Магнитное
поле
закручивает
увеличивает
траекторию
вероятность
электронов
ионизации
по
спирали,
молекул
газа
электронами. Диапазон измеряемых давлений составляет 10 –
10-7 Па.

7. Инверсно - магнетронный манометр так же как и
магниторазрядный
электрического
использует
и
магнитного
схему
полей.
скрещенных
В
отличие
от
магниторазрядного конструкция системы “анод – катоды”
позволяет создать практически стационарную орбиту для
появляющихся в результате ионизации вторичных электронов.
Конструкция предусматривает также разделение фонового и
ионного (измеряемого) токов, что позволяет расширить
диапазон измеряемых давлений в области сверхвысокого
вакуума и обеспечить работу в диапазоне РИЗМ = 10-10 –10 Па.

Механические (деформационные) манометры
Наиболее распространенный тип деформационных
манометров представляет собой трубку Бурдона, соединенную
с откачиваемым сосудом.

При давлении около 0.1 Торр (10 Па) манометр практически
не реагирует на изменение давления (”0” шкалы манометра),
максимум соответствует 105 Па (атмосфере).
Для расчета упругой характеристики прибора выразим
внешние приведенные силы, действующие на стенки трубки
Бурдона с наружной и внутренней стороны архимедовой спирали
и обозначенные как F1 и F2, через соответствующие площади:
F1 ( Pe  Pm ) S1
где
F2 ( Pe  Pm ) S 2
Pe- внешнее (атмосферное ) давление, Па
Pm - измеряемое давление, Па
S1 ,S2 - площади трубки Бурдона, видимые с наружной
и внутренней стороны архимедовой спирали, соответственно, м2.

Уравнения равновесия для упругой трубки Бурдона,
нагруженной разностью давлений (Pe - Pm) может быть
представлено:
F1 = F2 + cx
где с – коэффициент,
(упругость системы);
характеризующий
жесткость
х – перемещение конца трубки Бурдона (шарнира 6).
Тогда
(Pe – Pm )S1 = (Pe – Pm )S2 + cx
откуда выражение для измеряемого давления:
cx
Pm Pe 
S1  S 2

Компрессионные манометры
Принцип работы манометра заключается в том, что в
колбу манометра забирается известный постоянный объем
газа, который сжимается в известное число раз, а затем
измеряется давление уменьшенной в объеме (сжатой) порции
взятого газа. Используется известное соотношение закона
Бойля – Мариотта:
PmV1 = P2V2,
где:
Pm - измеряемое давление в системе;
V1 - объем (колбы) забираемой порции газа;
P2 - измеряемое манометром давление;
V - объем порции газа после сжатия в манометре.

Схема компрессионного манометра
1 – трубка для присоединения к
вакуумной
(исследуемой)
системе;
2 – “сравнительный” капилляр;
3 – ’’измерительный’’ капилляр;
4 – соединительная трубка;
5 – колба (объем V1) для забора
порции газа;
6

резервуар
с
жидкостью (ртутью);
7 – поршень.
рабочей

Исходное положение уровня ртути соответствует метке I,
при этом колба 5 оказывается наполненной газом, давление
которого (Pm) мы должны измерить. Затем мы плавно
поднимаем уровень ртути. Объем V1 колбы 5 оказывается
отрезанным от измерительной системы, когда уровень ртути
достигает отметки II. Продолжая поднимать уровень,
устанавливаем его на отметке III (в “измерительном”
капилляре), при этом степень сжатия газа n:
n = V1/V2
2
C
где
d
V2 
l
4
м3
dC – диаметр капилляра, м;
l – расстояние от уровня III до вершины измерительного
капилляра, м.

В сравнительном капилляре уровень ртути (уровень IV)
выше, т.к на него не действует давление сжатой порции газа, а
действует лишь давление Pm , которым в грубых расчетах можно
пренебречь. В этом случае можно выразить давление сжатой
порции газа:
P2 Торр (мм рт. ст. ) = h · 133 Па,
где
h - разность уровней ртути в измерительном и
сравнительном капиллярах.
Используя исходное уровнение Бойля – Мариотта:
 dC2
 dC2
Pm V1  P2
l h 133 
l
4
4
, Па
откуда выражаем измеряемое давление:
 d C2
Pm 133h 
l c1 h
4V1
, Па
где с1 - постоянная компрессионного манометра при
измерении методом линейной шкалы.

Огромным преимуществом компрессионного манометра
перед другими типами высоковакуумных манометров является
возможность прямым методом измерять давление газов в
диапазоне 100 – 10-3 Па, поэтому его используют в качестве
эталона
при
градуировке
других
типов
манометров
(косвенного измерения).
Главным
правильного
недостатком
измерения
является
давления
невозможность
конденсирующихся
компонентов газовых смесей, т. к. они могут конденсироваться
при сжатии.
Недостатком
является
также
длительность
операции
измерения и невозможность ее электронного мониторинга.

Гидростатические (жидкостные) манометры
а) манометр с открытым коленом (показания прибора
зависят от атмосферного давления):
pe – pm =  g h,
pe – атмосферное давление;
где
pm –


измеряемое давление;
плотность жидкости (ртути или масла);
g – ускорение земного притяжения;
h–высота столба жидкости (погрешность измерения ~0,1мм).
pm = 105 … 102 Па - для
5
1
ртути;

Преимущества гидростатических масляных манометров:
•более высокая чувствительность, т.к. плотность масла
примерно в 15 меньше, чем у ртути;
•безопасность при измерениях.
Недостатки гидростатических масляных манометров:
•хорошо растворяет газ, поэтому перед работой требуется
тщательное обезгаживание масла;
•большие габариты манометра.

б) манометр с закрытым коленом (показания не зависят от
атмосферного давления):
pm =  g h,
где
pm



измеряемое давление;
плотность жидкости (ртути или масла для);
g – ускорение земного притяжения;
h–высота столба жидкости (погрешность измерения ~0,1мм).
pm = 105 … 102 Па - для ртути (Pнас=310-1Па);
pm = 105 … 101 Па - для масла (для ВМ-1 Pнас=10-6Па).

Погрешность градуировки механических и
гидростатических манометров
Механические и гидростатические манометры – приборы
для прямого измерения давления. Они используются для
градуировки всех других приборов как образцовые манометры.
Другие
типы
манометров:
тепловые,
электронные,
магниторазрядные, радиоизотопные – являются манометрами для
косвенного измерения давления.

Образцовые
манометры,
используемые
в
качестве
исходных для градуировки всех других приборов называются
образцовыми манометрами первого разряда (погрешность
градуировки не более 1 … 5 %).
Манометры,
используемые
в
качестве
образцовых
и
предварительно проградуированные по образцовым манометрам
первого
разряда
называются
образцовыми
манометрами
второго разряда (погрешность градуировки не более 10…
15%).

Тепловые манометры
Принцип действия тепловых манометров основан на
зависимости теплопередачи через разреженный газ от
давления.
Теплопередача осуществляется от нагреваемой в вакууме
тонкой нити к стенкам баллона датчика.
1 - трубка для присоединения
к вакуумной системе
2 - тонкая нагреваемая нить
3 - держатель нити
4 - газ
5 - баллон датчика

Уравнение теплового баланса такого манометра можно
представить в виде:
IН 2 R = QK +QT +QИ +QМ
где IH – ток, проходящий через нагреваемую нить, А;
R - сопротивление нити, Ом;
QK - тепло, отводимое газом за счет конвекции, Вт;
QТ - тепло, отводимое газом за счет теплопроводности, Вт;
QИ - тепло, отводимое излучением, Вт;
QM - тепло, отводимое материалом нити за счет

Потери QИ и QМ не зависят от давления. Манометр
должен быть сконструирован так, чтобы в диапазоне рабочих
давлений изменение QK и QT в зависимости от давления
составляло заметную долю от общих тепловых потерь нити,
и, следовательно, его можно было измерить.
Большинство выпускаемых типов вакуумметров позволяет
измерять вакуум в датчике на основе зависимости
теплопроводности газа от давления:
QT  KS (TH  T ) P
где S - площадь поверхности нити, м2;
TH - температура нити, град;
Tб - температура баллона, град;
P - давление в колбе датчика, Па;
K - коэффициент теплопроводности газа в высоком вакууме.

В этом случае (без учета конвекции QK) уравнение
теплового баланса:
I Н2 R 2rlK (TН  Т Б ) P  2rl (TН4  Т Б4 )  r 2b(TН  Т Б )
где
l - длина нити;
r - радиус нити;
σ - коэффициент Стефана – Больцмана;
b - коэффициент теплопроводности по сечению нити.
Изменение
теплопроводности
QT

суммарного
теплоотвода) от нагреваемой нити вызывает изменение ее
температуры, по которому можно косвенно судить об изменении
давления. Таким образом, тепловые манометры являются
манометрами косвенного типа.

Чувствительность теплового манометра зависит от рода
газа,
заполняющего
баллон
датчика.
Обычно
прибор
градуируется по воздуху, а пересчет на давление другого газа РГ
производят по формуле:
РГ = q Г · Р
Значения qГ для тепловых манометров:
Газ

Воздух Н2
1,0
0,67
Не
1,12
Ne
1,31
СН4
0,61
Ar
1,65
СО2
0,94

Нижний
предел
измеряемых
тепловым
манометром
давлений зависит от соотношения постоянных составляющих QT
и QИ, QМ, не зависящих от давления и тепла, отводимого за
счет теплопроводности газа. При QT  QИ +QM температура
нити практически становится постоянной и перестает
зависеть от давления.
Для понижения предельного измеряемого давления
необходимо ослабить побочные процессы теплоотвода. Для
уменьшения QМ нить должна иметь большое сопротивление
тепловому потоку – быть более тонкой. Для уменьшения QИ
нужно снизить температуру нити ТH , т.к по закону Стефана –
Больцмана QИ ~ ТН4. Однако уменьшение ΔТ снижает
чувствительность. Обычно (для датчиков ЛТ-2, ЛТ-4) ТН =300…
400 ОС.

Верхний предел измеряемых давлений определяется двумя
факторами:
1. при переходе от среднего к низкому вакууму изменяется
характер теплопроводности газа QT , которая перестает
зависеть от давления. Зависящим от давления фактором
остается лишь конвективный теплоотвод:
QK a (TH  T )
4/3
P
2/3
где
а – коэффициент, определяемый свойствами и
температурой газа, формой и поверхностью нагревателя, а
также положением датчика.
2. при высоком давлении большая теплопроводность газа
сильно снижает температуру нити ТН, уменьшая разность
температур ТН - Тδ и приводит к потере чувствительности.

Как следует из молекулярно-кинетической теории,
теплопроводность газа QT при низком вакууме не зависит от
давления. Поэтому при соотношении:
L/d <<1
где
(точнее L/d < 1/200),
L - длина свободного пробега молекул;
d - размер колбы датчика (d = 2R)
тепловой
манометр
принципиально
не
позволяет
использовать зависимость для измерения давления.
При использовании уравнения для конвективного
теплоотвода при более высокой температуре нити накала
возможно измерение давления тепловыми манометрами в
диапазоне 103…105 Па ( с большой погрешностью).
По способу измерения тепловые манометров делятся на два
типа: манометры сопротивления и термопарные.

Схема преобразователя сопротивления
В преобразователе сопротивления (манометре Пирани) для
измерения
температуры
используется
зависимость
сопротивления нити от температуры. Он включается в
мостовую схему. Ток накала нити Iн измеряется
миллиамперметром, включенным в то же плечо моста, что и
преобразователь, а температура нити – по току гальванометра в
измерительной диагонали моста. Ток накала регулируется
реостатом R.

Схема термопарного преобразователя и градуировочная кривая
Показания
теплового
манометра
обладают
инерционностью, так как для изменения температуры нити
требуется определенное время, обратно пропорциональное
давлению. Это время изменяется от нескольких десятков
секунд секунд при 10-1 Па до нескольких секунд при низком
вакууме.

В термопарном преобразователе давления температура
нити 2 измеряется термопарой 1. Электроды расположены в
стеклянном или металлическом баллоне, имеющем патрубок для
подключения к вакуумной системе. Термо – э.д.с. термопары
измеряется милливольтметром, ток накала нити регулируется
реостатом и измеряется миллиамперметром.
Параметры термопарного преобразователя давления ПМТ-2
приведены в таблице.
Параметр
Ток нити накала, мА
Верхний предел измерения, Па
Нижний предел измерения, Па
Значения параметра
138
10
10-1

В манометрах сопротивления используется зависимость
сопротивления нити от температуры. Нить манометра выполняет
две функции: источник тепла и измерителя температуры.
Промышленность выпускает вакуумметр сопротивления
ВСБ-1 с датчиком МТ-6.
В
термопарных
манометрах
нить
служит
лишь
источником тепла. Для измерения температуры применяется
термопара.
Промышленность
выпускает
термопарные
вакуумметры ВТ-2 и ВТ-3, а также совмещенные в одном корпусе
с ионизационными вакуумметрами ВИТ-1, ВИТ-2, работающие с
датчиками ЛТ-2, ПМТ-2 (стеклянный) или ЛТ-4 (металлический).
В датчике ЛТ-2 нить нагревателя изготовлена из технической
платины, а в ЛТ-4 – из никеля или тантала.

В вакуумметрах ВТ-1, ВТ-2, ВИТ-1, ВИТ-2 датчики ЛТ2, ЛТ-4, ПМТ-2 работают в режиме переменной температуры
при постоянном токе накала. В диапазоне давлений 101…10-1
Па ток нити накала подбирается так, чтобы при давлении 10-1
Па ЭДС термопары составляла 10 мВ.
Градуировочная кривая датчика ЛТ-2 по воздуху
приведена на рис. С течением времени градуировочные кривые
манометра могут изменяться за счет старения нити и баллона,
образования пленок на их поверхности (от паров масла).
Поэтому для очистки рекомендуется периодически прокаливать
нить.

Ионизационные манометры
Принцип действия ионизационных манометров основан на
зависимости скорости ионизации газа от давления. В
датчике любого ионизационного манометра есть две системы:
для ионизации остаточного газа и для отбора ионов. В
установившемся
режиме
работы
манометра
скорость
ионизации равна скорости отбора ионов, о которой судят по
ионному току. Из молекулярно-кинетической теории газов
следует, что скорость образования ионов в манометре
пропорциональна давлению и эффективности ионизации.

Найдем уравнение ионизационного преобразователя.
Число образованных ионов:
nu  P ne  l
где
Р – давление, Па;
ne – число электронов;
 – эффективность ионизации, м-1Па-1;
l – длина траектории, м.
Эффективность
ионизации
 - кол-во ионов,
образованных электроном при давлении 1 Па и длине
траектории электрона равной 1 м.

Разделив уравнение на время t, получим уравнение
ионизационного преобразователя:
nu
где
t
kPn e
t
I u  kPI e
Iu ,Ie – ионный и электронный ток, А;
k – чувствительность ионизационного
преобразователя (k =  ·l, Па-1).
Чувствительность ионизационного преобразователя
k – количество ионов, образованных электроном при
давлении 1 Па.
Таким образом:

Iu
P

k I e K a
где Ка–постоянная ионизационного преобразователя, AПа-

Чувствительность К ионизационного
преобразователя ПМИ-2 к различным газам
Газ
N2
O2
Ar
He
H2
CO
К, Па-1
0,22
0,23
0,27
0,025
0,082
0,24
Массовый состав атмосферного воздуха и
парциальные давления компонентов (Т = 298 К)

Для существования прямой зависимости между
давлением газа и ионным током интенсивность источника
ионизирующего излучения должна быть постоянной. Поэтому
ток электронной эмиссии в датчике ПМИ – 2 (ЛМ-2)
стабилизирован и равен 0,5 мА, длина свободного пробега
ионов и ионизирующих электронов – больше расстояния
между электродами, чтобы избежать рекомбинации ионов или
двух-, трёхкратной ионизации, нарушающей линейность
уравнений.
Различают типы манометров в зависимости от вида
источника ионизации:
1. термоэлектронные, где для ионизации газа используются
термоэлектроны (наиболее ходовой тип);
2. магниторазрядные, где для ионизации используется
автоэлектронная эмиссия;
3. радиоизотопный, где ионизация происходит за счёт
радиоактивного  - или  - излучения изотопов.

Как видно из формул, важным фактором является
увеличение эффективности ионизации газов. Эффективность
ионизации характеризует число ионов, образующихся на метре
пути электрона при давлении 1 Па. Минимальная энергия
электрона, необходимая для ионизации большинства газов,
составляет 12…25 эВ, но максимальную эффективность
получают примерно при 125 эВ. Дальнейшее увеличение
энергии (и скорости) электрона уменьшает вероятность его
эффективного столкновения с молекулой. Другой фактор,
увеличивающий ионизацию - удлинение пути электронов.

Казалось бы, что для измерения давления можно
использовать триод, измеряя сеточный ионный ток при
постоянном электронном токе на аноде. Однако при этом
мала эффективность ионизации из-за короткого пути
электронов от катода к аноду и, кроме того, оксидные катоды
не допускают соприкосновения с атмосферой даже в
холодном состоянии.
Поэтому
разработана
манометрического
коллектором.
специальная
преобразователя
конструкция
с
внешним

Термоэлектронный (ионизационный) преобразователь
Ризм. = 10-1…10-5 Па
A
mA
1 – вольфрамовый катод;
2 – сетка анод;
3– коллектор ионов

Манометрический датчик такого типа – ПМИ-2, служит
для измерения давлений в диапазоне 10-1…10-5 Па.
Катод прямого накала 1 в форме шпильки из вольфрама
служит источником электронов. Сетка 2 в форме спирали
имеет
напряжение
+200
В
и
является
анодом.
Цилиндрический коллектор ионов 3 с потенциалом –25 В
имеет отдельный вывод на горловине для уменьшения утечки
электронов по цоколю и стеклу. Стабилизированный ток
эмиссии лампы ПМИ-2 составляет 0,5 мА. Эмитированные
катодом электроны в большинстве пролетают мимо редкой
сетки-анода, отталкиваются полем коллектора обратно и
колеблются у сетки, прежде чем попасть на неё, ионизируя
газ.

Ионизационные манометры обладают откачивающим
действием за счёт хемосорбции О2 на горячем катоде из
вольфрама
и
коллекторе).
ионной
откачки
(осаждение
ионов
на
Для ПМИ-2 быстрота ионной откачки около
10-5 м3с-1.
Верхний
предел
измерений
датчик
ПМИ-2,
составляющий 10-1 Па, ограничен распылением (перегоранием)
катода. Для датчика ЛМ-3 с иридиевым катодом, покрытым
окисью иттрия, этот предел составляет 1 Па.

Нижний
предел
измерения
датчика
ПМИ-2,
составляющий 10-5 Па, ограничен наличием фонового тока
коллектора. Электроны при торможении на сетке-аноде дают
мягкое
рентгеновское
излучение,
которое,
попадая
на
коллектор, вызывает с него фотоэмиссию. Фототок, идущий с
коллектора на анод, имеет тот же знак, что и ионный ток,
однако от давления не зависит, поэтому в начале ХХ века
существовало ошибочное мнение, что давление ниже 10-5 Па
получить невозможно.

В 1950 г. Баярдом и Альпертом сконструирован
термоэлектронный манометр с осевым коллектором, в
котором за счёт уменьшения площади коллектора примерно в
1000 раз, удалось также в 1000 раз снизить значение фонового
тока.
На рис. показана схема датчика ИМ-12, выполненного по
указанному принципу. Вольфрамовый катод 1 вынесен за
пределы сетки 2, выполненной в виде спирали из молибдена.
Коллектор ионов 3 расположен в центре и выполнен в виде
слегка конической иглы из вольфрамовой проволоки толщиной
150 мкм. Постоянная датчиков ИМ-12 (стеклянного) и МИ-12
(металлического) ка=(1…4) 10-4 АПа-1 при токе эмиссии 5 мА.
Фоновый ток в датчиках ИМ-12 (МИ-12) составляет 3 10-12 А
(вместо 5 10-9 А для ЛМ-2), диапазон измеряемых давлений от
10-3 до 10-8 Па.

Схема ионизационного манометра Баярда-Альперта
1- катод; 2- сетка – анод; 3- коллектор ионов

Датчиком
ПМИ-2
измеряют
комбинированных
выкуумметров
давление
с
помощью
ионизационно-термопарных
ВИТ-1,
ВИТ-2,
которые
содержат
термопарную часть для работы в диапазоне давлений 101 …
10-1 Па и ионизационную часть для давлений 10-1…10-5 Па.
Датчики ПМТ-2, ЛМ-3 хорошо сочетаются по рабочим
параметрам, а единый блок охватывает диапазон 101…10-5 Па
среднего и высокого вакуума.
Для измерения давлений в диапазоне 10-3…10-8 Па
выпускают вакуумметр ВИ-12, работающий с датчиками ИМ12 и МИ-12 и датчиком МИ-12-8 открытой конструкции
(встраиваемой на фланце в прогреваемые вакуумные системы).

Свежие статьи
Популярно сейчас
А знаете ли Вы, что из года в год задания практически не меняются? Математика, преподаваемая в учебных заведениях, никак не менялась минимум 30 лет. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5057
Авторов
на СтудИзбе
456
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее