Главная » Все файлы » Просмотр файлов из архивов » PDF-файлы » Лекция №10 Газовая среда в камере

Лекция №10 Газовая среда в камере (Курс лекций по ВСТО)

PDF-файл Лекция №10 Газовая среда в камере (Курс лекций по ВСТО) Вакуумные системы технологического оборудования (16460): Лекции - 5 семестрЛекция №10 Газовая среда в камере (Курс лекций по ВСТО) - PDF (16460) - СтудИзба2017-12-28СтудИзба

Описание файла

Файл "Лекция №10 Газовая среда в камере" внутри архива находится в папке "Курс лекций по ВСТО". PDF-файл из архива "Курс лекций по ВСТО", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "вакуумные системы технологического оборудования" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "лекции и семинары", в предмете "вакуумные системы технологического оборудования" в общих файлах.

Просмотр PDF-файла онлайн

Текст из PDF

Газовая среда в рабочей камереВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №10Регулирование газовой средыУправление газовой средой необходимо дляобеспечения: Заданного давления Заданного потока (расхода) Заданного состава газовой смесиРегулирование газовой средыУправление газовой средой необходимо дляобеспечения требований, предъявляемыхтехнологическими процессами илиоборудованием Осаждение тонких плёнок ионно-плазменными,ионно-лучевыми и CVD методами Ионно-плазменное, ионно-лучевое иплазмохимическое травление и очистка Молекулярно-лучевая эпитаксия Отжиг, пайка, сваркаРегулирование газовой средыВыходные параметры регулирования и контроля: Рабочее давление Поток (расход) Состав газовой смеси Комбинация давления, расхода и составагазовой смесиРегулирование и контроль рабочегодавленияКонтроль рабочего давления осуществляетсядатчиками вакуума (совместно со вторичнымиприборами - контроллерами) Показания большинства датчиков зависят отрода газа Для точного контроля рабочего давления смесигазов необходимо использоватьгазонезависимые типы датчиков – емкостные,мембранныеРегулирование и контроль рабочегодавленияРегулирование давления: Изменением потока газа Ручными натекателями РРГ Изменением эффективной скорости откачки Изменением быстроты действия насоса (редко) Изменением проводимости линии откачкиРегулирование состава газовой среды Поток смеси газовустанавливается Скорость откачкипостояннаАвтоматическийрежимРегулирование состава газовой средыРегулирование рабочего давленияизменением потока газа (на входе) Поток газаизменяется Скорость откачкипостояннаРучной режимРегулирование рабочего давленияизменением потока газа (на входе) Поток газаизменяется Скорость откачкипостояннаАвтоматическийрежим ПИД законРегулирование рабочего давленияизменением потока газа (на входе)Регулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе) Изменяетсяпроводимость линииоткачкиАвтоматическийрежимРегулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе)Регулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе)Регулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе) Поток газапостоянный Скорость изменяетсяАвтоматическийрежимРегулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе)Регулирование состава газовой среды Поток смеси газовустанавливается Скорость откачкипостояннаРучной режимВакуумная установка нанесениятонких плёнок JVD методомВакуумная установка ВУПВакуумная установка УВН-1М.

Свежие статьи
Популярно сейчас
А знаете ли Вы, что из года в год задания практически не меняются? Математика, преподаваемая в учебных заведениях, никак не менялась минимум 30 лет. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5076
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее