Лекция №10 Газовая среда в камере (Курс лекций по ВСТО)
Описание файла
Файл "Лекция №10 Газовая среда в камере" внутри архива находится в папке "Курс лекций по ВСТО". PDF-файл из архива "Курс лекций по ВСТО", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "вакуумные системы технологического оборудования" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "лекции и семинары", в предмете "вакуумные системы технологического оборудования" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Газовая среда в рабочей камереВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №10Регулирование газовой средыУправление газовой средой необходимо дляобеспечения: Заданного давления Заданного потока (расхода) Заданного состава газовой смесиРегулирование газовой средыУправление газовой средой необходимо дляобеспечения требований, предъявляемыхтехнологическими процессами илиоборудованием Осаждение тонких плёнок ионно-плазменными,ионно-лучевыми и CVD методами Ионно-плазменное, ионно-лучевое иплазмохимическое травление и очистка Молекулярно-лучевая эпитаксия Отжиг, пайка, сваркаРегулирование газовой средыВыходные параметры регулирования и контроля: Рабочее давление Поток (расход) Состав газовой смеси Комбинация давления, расхода и составагазовой смесиРегулирование и контроль рабочегодавленияКонтроль рабочего давления осуществляетсядатчиками вакуума (совместно со вторичнымиприборами - контроллерами) Показания большинства датчиков зависят отрода газа Для точного контроля рабочего давления смесигазов необходимо использоватьгазонезависимые типы датчиков – емкостные,мембранныеРегулирование и контроль рабочегодавленияРегулирование давления: Изменением потока газа Ручными натекателями РРГ Изменением эффективной скорости откачки Изменением быстроты действия насоса (редко) Изменением проводимости линии откачкиРегулирование состава газовой среды Поток смеси газовустанавливается Скорость откачкипостояннаАвтоматическийрежимРегулирование состава газовой средыРегулирование рабочего давленияизменением потока газа (на входе) Поток газаизменяется Скорость откачкипостояннаРучной режимРегулирование рабочего давленияизменением потока газа (на входе) Поток газаизменяется Скорость откачкипостояннаАвтоматическийрежим ПИД законРегулирование рабочего давленияизменением потока газа (на входе)Регулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе) Изменяетсяпроводимость линииоткачкиАвтоматическийрежимРегулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе)Регулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе)Регулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе) Поток газапостоянный Скорость изменяетсяАвтоматическийрежимРегулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе)Регулирование состава газовой среды Поток смеси газовустанавливается Скорость откачкипостояннаРучной режимВакуумная установка нанесениятонких плёнок JVD методомВакуумная установка ВУПВакуумная установка УВН-1М.