4138 (ДЗ1, вариант 10 - Установка кассетирования кристаллов)
Описание файла
PDF-файл из архива "ДЗ1, вариант 10 - Установка кассетирования кристаллов", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "проектирование нанотехнологического оборудования (пнто) (мт-11)" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "проектирование нанотехнологического оборудования (пнто)" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Адкрытае акцыянернаетаварыства «Планар-СО»Открытое акционерное общество«Планар-СО»(ААТ «Планар-СО»)(ОАО «Планар-СО»)Автомат укладки кристаллов СБИС ЭМ-4138Установка контроля и кассетирования кристаллов ЭМ4138 предназначена для автоматического контроля, съема иукладки с полупроводниковых пластин годных кристаллов вкассеты.Определение годных кристаллов осуществляется спомощью высокоскоростной и высокоточной системытехнического зрения.Для систем ориентации пластины, механизмовподкола, съема и переноса кристаллов в кассету примененывысокоскоростные приводы с обратной связью.Установка имеет систему диагностики основныхэлектронных и механических узлов.Установка ЭМ-4138 распознает маркировочные пятнапосле зондового контроля а также есть распознаваниедефектов на поверхности кристалла: сколов, царапин и трещинразмером не менее 75 мкм. Размер дефекта вычисляется каккорень квадратный из площади, закрываемой этим дефектом.Также установка позволяет производить выборку кристаллов по электронной картегодности выдаваемой установкой зондового контроля.Технические характеристикиПроизводительность (кинематическая)Диаметр обрабатываемой пластиныРазмер кристалловКоличество инструментов укладкиКоличество одновременно заполняемых кассетРазмер кассетыЭлектропитание и потребляемая мощностьГабаритные размерыМасса6000 кристаллов/чдо 200 ммот 0.8×0.8 до 15×15 мм182×2″230 В, 50 Гц, 1 кВт1120×850×1750 мм400 кг.