Приложение А - Протокол испытаний (Практика в Лаборатории биофизических и специальных информационно-измерительных систем)
Описание файла
Файл "Приложение А - Протокол испытаний" внутри архива находится в папке "Практика в Лаборатории биофизических и специальных информационно-измерительных систем". Документ из архива "Практика в Лаборатории биофизических и специальных информационно-измерительных систем", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "практика" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технологическая практика (летняя)" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Приложение А - Протокол испытаний"
Текст из документа "Приложение А - Протокол испытаний"
« » 2011 г. Страница 3 из 3
ПРИЛОЖЕНИЕ А
ПРОТОКОЛ ИСПЫТАНИЙ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ
ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ
ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ
119361, Москва, ул. Озерная, 46. Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47 |
ПРОТОКОЛ ИСПЫТАНИЙ
(Экспериментальная часть)
От « 18 » июля 2011 года
На 3 страницах
Объект испытаний: Микроскоп оптический конфокальный Veeco VCM-200
Заводской номер: 221040
Применяемое эталонное и вспомогательное оборудование:
Наименование | Заводской номер | Основные технические характеристики |
Меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К | 221040 | Передача размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м Номинальное значение шага шаговой структуры меры (t) 2,00 мкм Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры ± 0,05 мкм Диапазон значений ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры (bu) от 10 до 500 нм Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах меры (h) от 100 до 1400 нм Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры меры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры меры (a) от 75 до 980 нм Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры δ (в пределах ширины линии ориентирования) не более 5 нм Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размеров bu, h, δ ± 2 нм Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размера a ± 1 нм |
Рулетка измерительная металлическая | - | Класс точности 3, предел измерения 3 м, цена деления шкалы 1 мм |
Весы | 067243 | Предел взвешивания 25 кг, погрешность 0,1 кг |
Условия проведения испытаний:
-
Температура окружающей среды: __21__0С
-
Относительная влажность: _____60_____ %
-
Давление: _______741________ мм рт. ст.
Испытания проводились на испытательной базе ЦМООС НПН ВНИИОФИ (Подразделение М-1)
Испытания проводила студентка Польщикова О.В. _______________
ФИО Подпись
Научный сотрудник подразделения М-1 Федоренко В.С. _______________
ФИО Подпись
Результаты испытаний (Результаты испытаний могут быть представлены в виде таблиц или описания).
-
Проверка комплектности, маркировки, упаковки
Заводской номер 221040 | |
Результат | Комплектность, маркировка и упаковка соответствуют требованиям технической документации |
Заключение | Соответствует |
-
Определение массы и габаритных размеров
Заводской номер 221040 | |
Результат | Масса: 55 кг Габаритные размеры (Д×Ш×В): 750×400×750 мм |
Заключение | Соответствует |
-
Определение СКО случайной составляющей погрешности измерителя при измерении высоты профиля меры
Заводской номер 221040 | |||||||||||||||||||||||||||
Результат | Результаты измерений приведены в Таблице ниже. Высота профиля
Нормируемое значение пределов допускаемого СКО случайной составляющей погрешности измерителя при измерении высоты профиля составляет 0,05 нм | ||||||||||||||||||||||||||
Заключение | Соответствует |
-
Экспериментальное опробование методики поверки
Все пункты методики поверки технически выполнимы и были опробованы в процессе проведения испытания.
ФГУП «ВНИИОФИ»
Ул. Озерная, 46 Испытания провела:
Тел/факс (499)792-07-03 студентка Польщикова О.В. /_____________________/
www.vniiofi.ru