отчёт (Отчёт по теме Исследование структуры твердых тел методом рентгеноструктурного анализа)
Описание файла
Документ из архива "Отчёт по теме Исследование структуры твердых тел методом рентгеноструктурного анализа", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико химические основы электроники" из 3 семестр, которые можно найти в файловом архиве МАИ. Не смотря на прямую связь этого архива с МАИ, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "лабораторные работы", в предмете "физико химические основы электроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "отчёт"
Текст из документа "отчёт"
Практическая работа по предмету
Физико-химические основы микроэлектроники
Тема: Исследование структуры твердых тел методом рентгеноструктурного анализа.
Цель работ:
1) Овладение методами автоматизированного моделирования технологических процессов и физических свойств материалов.
2) Определение фазового состава пленки материала расчетным путём по заданным данным.
Методика:
Чтобы определить набор межплоскостных расстояний d/n = / 2 sin, надо выполнить следующие операции:
1) Рассчитать теоретические рентгенограммы, т.е. по известным из таблиц расстояниям d/n определить углы теор для предполагаемого состава исследуемого образца.
2) Определить положение всех интерференционных максимумов на рентгенограмме, построив гистограммы относительной интенсивности J%. Для каждого значения теор .
3) Сравнить эксп с теор и сделать вывод о структуре образца, пользуясь данными рис.4.3.
= 0.709 Ао
Интенсивность, J, % | d/n | sin | теор. |
40 | 2.556 | 0.138 | 7.932 |
40 | 2.341 | 0.151 | 8.684 |
100 | 2.241 | 0.158 | 9.090 |
40 | 1.728 | 0.205 | 11.829 |
40 | 1.477 | 0.240 | 13.886 |
50 | 1.336 | 0.259 | 15.010 |
40 | 1.249 | 0.283 | 16.439 |
30 | 1.233 | 0.287 | 16.678 |
10 | 1.176 | 0.301 | 17.517 |
10 | 1.125 | 0.315 | 18.360 |
20 | 1.065 | 0.332 | 19.390 |
30 | 0.989 | 0.358 | 20.977 |
30 | 0.942 | 0.376 | 22.086 |
30 | 0.917 | 0.386 | 22.705 |
10 | 0.88 | 0.399 | 23.515 |