Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)Установка нанесения износостойких покрытийУстановка нанесения износостойких покрытий
2017-12-22СтудИзба

Курсовая работа: Установка нанесения износостойких покрытий

Описание

Курсовой проект по системам автоматического управления 2005-го года

Введение. 2

Описание установки. 3

Описание процессной модели. 4

Деление технологии на процессы. 4

Основные целевые процессы. 5

Описание комплексной принципиальной схемы. 7

Техническое задание на элементы и узлы машины. 8

Блок нормализации сигналов. 8

Блок ключей. 8

Блок управления шаговым двигателем. 9

Блок питания на 12В. 9

Блок питания на 15В. 9

Блок питания на 24В. 9

Выбор и обоснование стандартных компонентов машины. 10

Расчет и описание принципиальной электрической схемы... 15

Блок нормализации сигналов (BNS) 15

Блок ключей (BKL) 17

Блок управления шаговым двигателем(BDV) 19

Описание автоматизированной работы. 19

Требования к управляющей прогремме. 19

Список литературы. 20

Введение.

Целью данного курсового проекта является разработка системы автоматизированного управления лабораторной установкой вакуумного нанесения тонких пленок фирмы BALZERS. Необходимо автоматизировать напуск газовой смеси в рабочую камеру, перемещение образца из одного рабочего положения в другое и установку проводимости откачного патрубка с помощью заслонки.

Курсовой проект выполнен на четырех листах формата А3 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритмы автоматизированных процессов. На втором и третьем листах – комплексно- принципиальная схема установки: механика, вакуумная система, газовая система, энергообеспечение, системы автоматизированного. На четвертом листе - принципиальная электрическая схема. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения СУ установки, даны описания листов проекта.


Описание установки.

Установка предназначена для обработки материалов потоком ионов, формируемых автономным источником ионов с холодным катодом типа «Радикал» и нанесения тонких пленок различных материалов методом реактивного магне­тронного распыления.


Рис 1.Вакуумно-кинематическая схема установки

Образец, на который наносится покрытие, располагается на подложкодержателе (поз.3), закрепленном на валу вакуумного манжетного ввода вращения (поз.6), приводимого в движение реверсивным электродвигателем двигателем типа РД-09 (поз.5). Для обеспечения высокой производительности процесса нанесения и заданной неравномерности толщины пленки конструкция подложкодержателя позволяет одновре­менно обрабатывать в одном вакуумном цикле до 32 образцов. Конструкция подложкодержателя позволяет наносить покрытие на любое количество образцов от 1 до 32.

Нанесение покрытия осуществляется при помощи магне­тронной распылительной системы(поз.9). Водоохлаждаемый магнетронный источник позволяет производить распыление материала с мишени ø76 мм.

Ионная обработка поверхностей образца, а также очистка и активация перед нанесением покрытия проводятся потоком ио­нов аргона, который формируется автономным источником ио­нов с холодным катодом типа «Радикал» (поз.2).

Для подвода рабочего газа к АИИ и магнетрону используется газовая система. Регулировка потока натекания газа в вакуум­ную камеру осуществляется натекателями магистрали газопо­дачи АИИ и магнетрона (V5 и V6). Контроль парамет­ров газовой среды в камере выполняется по общему давлению.

Так же в конструкции предусмотрено изменение скорости откачки камере путем изменения проводимости откачного патрубка заслонкой (поз.31), которая вращается при помощи привода на основе вакуумного ввода вращения (поз.15) и шагового двигателя(поз.14).

Установка построена на базе вакуумной системы «Balzers-350G».


Описание процессной модели.


В данном курсовом проекте разрабатывается процессная модель автоматизированного управления для лабораторной установки нанесения магнетронного тонких пленок в вакууме методом магнетронного распыления, см. лист. «Процессная модель» .


Деление технологии на процессы.


В работе установки можно выделить следующие основные процессы:

1. Загрузка;

3. Форвакуумная откачка (ФВО);

4. Высоковакуумная откачка (ВВО);

5. Напуск рабочей смеси газов;

6. Технологический процесс (ТП);

6.1 Очистка и активация поверхности образца;

6.2 Перемещение образца из зоны очистки в зону нанесения;

6.3 Нанесение тонкой пленки методом магнетро

Характеристики курсовой работы

Список файлов

  • Установка нанесения износостойких покрытий
  • sau_1.cdw 96,63 Kb
  • sau_2.cdw 160,62 Kb
  • sau_3.cdw 162,59 Kb
  • sau_4.cdw 226,34 Kb
  • Задание.doc 25,5 Kb
  • Записка.doc 580 Kb
  • Прочти меня.txt 141 b
Картинка-подпись
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать

Комментарии

Поделитесь ссылкой:
Цена: 1 200 руб.
Расширенная гарантия +3 недели гарантии, +10% цены
Рейтинг-
0
0
0
0
0
Поделитесь ссылкой:
Сопутствующие материалы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Нашёл ошибку?
Или хочешь предложить что-то улучшить на этой странице? Напиши об этом и получи бонус!
Бонус рассчитывается индивидуально в каждом случае и может быть в виде баллов или бесплатной услуги от студизбы.
Предложить исправление
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5075
Авторов
на СтудИзбе
455
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее