Свойства термических пленок SiO2
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Свойства термических пленок SiO2
Основными контролируемыми параметрами пленок являются: коэффициент преломления, химический состав пленки, пористость, плотность, скорость травления, напряженность поля пробоя. Значения некоторых типичных характеристик термических пленок SiO2 приведены в таблице:
Параметр | Значение параметра |
Плотность, г/см3 | 2,2 |
Показатель преломления | 1,46 |
Диэлектрическая постоянная | 3,82 |
Рекомендуемые материалыFREE Маран Программная инженерия Техническое задание -70% ДМ 1643 - Проектирование привода цепного транспортера с двухступенчатым цилиндрическим редуктором с раздвоенной косозубой быстроходной ступенью и тихоходной шевронной ступенью -9% Моделирование технологического процесса нанесения тонких плёнок Стеллаж И-43 Вариант 43А - ДЗ №2 - Кинематический анализ (Угол 30) (Все построения выполнены в Компас 3D) Ширина запрещенной зоны, эВ | 8,9 |
Удельное сопротивление постоянному току при T = 25 °С, Ом·см | 1014-1016 |
Скорость травления в буферном растворе HF, нм/мин | 100 |
Бесплатная лекция: "33 Классификация систем массового обслуживания" также доступна. Линия ИК поглощения, мкм | 9,3 |
Коэффициент теплового расширения, С-1 | 5·10-7 |
Механические напряжения в окисле, дин/см2 | 3·109 |