Кремниевые пластины как объект производства
1. Кремниевые пластины как объект производства
Внешне кремниевые монокристаллические пластины выглядят как тонкие диски темно серого цвета, у которых по крайней мере одна сторона отполирована до зеркального блеска (рис. 2.1, а ). В зависимости от вида производства могут использоваться подложки различного диаметра - от 75 до 300 (450) мм (рис. 2.1, б), в лабораторных условиях могут применяться пластины диаметром 25, 50 мм.
| "Поэзия Василия Андреевича Жуковского" - тут тоже много полезного для Вас.
| ||||||
Рис. 2.1. Кремниевые монокристаллические пластины а – полированная кремниевая пластина, б – сравнение пластин диаметром 300 и 400 мм. |
Несмотря на внешнюю простоту, кремниевые пластины как объект производства являются уникальными изделиями. Достаточно сказать, что список технических требований, предъявляемых к пластинам на основе международных стандартов, разработанных SEMI (Semiconductor Equipment and Materials Institute), содержит более 20 параметров. Для их контроля разработаны и повсеместно используются американские стандарты ASTM (American Society for Testing and Materials).
Прежде всего, как следует из технологического анализа изделий микротехнологии, пластины должны иметь монокристаллическую структуру, а их верхняя, рабочая поверхность должна быть свободной от дефектов, т.е. не иметь нарушенного слоя.
Кроме того, весьма жесткие технические требования предъявляются к электрическим, механическим, химическим параметрам кремниевых монокристаллических пластин, а также к параметрам их поверхности.